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氣氛爐常見泄漏點(diǎn)排查:法蘭、O型圈、電極引出部位
瀏覽次數(shù):27發(fā)布日期:2025-11-24
  氣氛爐通過通入惰性或反應(yīng)性氣體(如Ar、N?、H?)實(shí)現(xiàn)特定熱處理環(huán)境,其氣密性直接決定工藝成敗與運(yùn)行安全。一旦發(fā)生泄漏,不僅導(dǎo)致氧含量升高、樣品氧化,還可能在氫氣氛圍下引發(fā)爆炸。因此,定期排查三大高發(fā)泄漏點(diǎn)——法蘭連接處、O型圈密封面、電極引出部位——是維護(hù)工作的重中之重。
 
  1.法蘭連接處泄漏
 
  爐體與爐蓋、氣體進(jìn)出口通常采用金屬或快裝法蘭連接。常見問題包括:
 
  螺栓預(yù)緊力不均,導(dǎo)致法蘭翹曲;
 
  密封面劃傷或積碳未清理。
 
  排查方法:用氦質(zhì)譜檢漏儀或皂泡法(禁用于氫氣系統(tǒng))檢測。處理時(shí)需拆卸法蘭,用無紡布蘸酒精清潔密封面,按對角線順序均勻擰緊螺栓。
 
  2.O型圈老化或選型錯(cuò)誤
 
  多數(shù)氣氛爐使用氟橡膠(FKM)或全氟醚橡膠(FFKM)O型圈。長期高溫(>200℃)或接觸腐蝕性氣體(如Cl?)會(huì)導(dǎo)致其硬化、開裂。檢查要點(diǎn):
 
  每次開爐時(shí)目視O型圈是否變形、龜裂;
 
  確認(rèn)材質(zhì)與工藝氣體兼容(如氫氣環(huán)境需專用低滲透率O型圈);
 
  安裝前涂抹真空脂(僅限非超高真空場景),避免干摩擦損傷。

 


 
  3.電極引出部位泄漏
 
  熱電偶、加熱電極需穿過爐壁,此處采用陶瓷絕緣子+金屬壓封結(jié)構(gòu)。長期熱循環(huán)易導(dǎo)致玻璃釉密封層微裂或金屬-陶瓷界面脫焊。
 
  檢測技巧:在停爐冷卻后,向爐內(nèi)充入0.05 MPa氮?dú)?,保?0分鐘,觀察壓力表是否下降。若泄漏,需返廠重做金屬化封接。
 
  預(yù)防建議:
 
  每月進(jìn)行一次全面氣密性測試;
 
  氫氣氣氛爐必須配備氫氣泄漏報(bào)警器與強(qiáng)制排風(fēng)系統(tǒng);
 
  避免頻繁升降溫,減少熱應(yīng)力對密封結(jié)構(gòu)的沖擊。
 
  總之,氣氛爐的“氣氛純凈”始于“零泄漏”。只有將密封件視為關(guān)鍵耗材,建立定期檢查與更換機(jī)制,才能保障實(shí)驗(yàn)結(jié)果的可靠性與人員設(shè)備的安全。
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